一种新型的电子显微分析技术。全称为电子探针X射线显微分析(electron probe X-ray microanalysis)。

原理 用扫描电子显微镜的高速电子束轰击试样表面的微小区域而得到特征X射线，通过其波谱、能谱状况以分析确定该微区内所含元素的种类和含量，并利用发射出的二次电子信号，进行样品表面形态的观察，从而达到分析测试样品的组织结构和元素分布之间原位的关系。经过计算机数据处理和定标过程，可以得到所需测定的元素含量和分布的面扫描、线扫描或点分析的不同测定结果。

仪器 电子探针显微分析仪的内部结构如图所示。从电子枪发射出的电子经阳极被加速成高速电子流，由聚光镜将其汇聚成极细 ......