利用电子束作为光源使高速电子流在磁透镜中与固体、生物样品等试样发生散射、衍射或扫描作用而形成高倍放大像来研究试样超微形态、结构、成分和功能的电子光学仪器。

世界上第一台电子显微镜诞生于1933年，是由德国科学家E.鲁斯卡(Ruska)教授设计制造的。当时这台仪器放大倍数可达1.2万倍，优于光学显微镜的分辨率。20世纪80年代电子显微镜的分辨率已提高至0.08纳米，放大倍数达120万倍。

中国自1958年制造了第一台电子显微镜起，先后生产有分辨率达0.2纳米，放大倍数可达80万倍的DX-4系列透射电镜和分辨率达7纳米，放大倍数达10万倍的DX-5系列扫描电镜。

电子显微镜种类 由于结构、用途各异， ......